檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "碳化矽".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="密度泛函理論"
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碳化矽是一個具有良好物理、機械和電子特性的寬能隙材料,使其成為下一個世代中高功率元件的替代材料。在過去大家對於矽基板上磊晶成長碳化矽有很大的興趣,因為其具有低成本以及大面積的優勢,另一方面將矽表面進…